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零部件
PRODUCTS

零部件

GONA-SEMI
SMIF PORT—8寸标准晶圆装载系统

200mm(8英寸)标准机械接口 (SMIF) 用于放置和开关装载了200mm晶圆的SMIF POD。此项技术利用单一系统的迷你环境,将晶圆在被传输过程中隔离,避免晶圆受到污染。在提高生产良率的同时,也大大降低了无尘室的洁净度维护成本。

降低无尘室洁净度维护成本
可根据客户需求定制(6寸/6、8兼容)
GONA-SEMI
6/8寸晶圆装载系统介绍

果纳半导体研发生产的200mm&300mm OCS符合SEMI E19.4、S2、S8 和 E63标准

可选的RFID Reader功能
高精度运动系统
自研控制算法
GONA-SEMI
炉管机械手

果纳炉管机械手是一种用于立式高温炉中多片晶圆取放的自动化传输装置。该机械手有两个末端执行机构,根据工况的不同,每次可以取放1片或者5片300mm的晶圆


高精度的运动部件
先进的检测单元
自研控制算法
GONA-SEMI
氮气充气工作台

果纳半导体OHB N2 Purge Station可搭配AMHS自动化设备使用,兼容SECS/GEM通讯协议

采用模块化设计,每组设备可按需配置1-4个充气工位。

充气流量控制范围:1-50 SLM(根据客户需求可配置其它流量范围)

符合SEMI S2, S23, F47标准


兼容SECS/GEM通讯协议
模块化设计
闲时充气
充气异常报警
GONA-SEMI
LSL3100 系列晶圆装载台

LSL3100系列loadport用于半导体制造设备、检测设备内部载入载出FOUP/FOSB。能够兼容符合SEMI标准的各类FOUP和FOSB。

扫描功能可选
FOUP ID读取功能可选
装置符合SEMI E15.1.E57、E62、E63、E64
全部驱动轴采用气动控制
相较于电机具有稳定性好
控制简单的特点
E84控制功能可选
兼容符合SEMI标准的FOUP和FOSB无需示教
RS232C以及I/O连接
GONA-SEMI
SR3300系列机械臂

超洁净无尘室用多轴型设计,3轴水平多关节无尘ROBOT SR3300系列,适用于100~300mm晶圆的半导体制造装置,检查装置等的晶圆搬送。

机械臂长度可选158mm、198mm
RS232C以及I/O连接
升降行程300mm、400mm、500mm可选
采用交流伺服电机规格设计及运动轨迹的优化调整实现高速高精度搬运
手臂可选支持晶圆翻转功能
根据装置的布局可选用底座固定和颈部固定方式
晶圆保持方式:真空吸附式、边缘夹持式
全部驱动轴采用交流伺服马达
Chuck的材质可选铝合金、陶瓷等各种材质