LSL3100系列loadport用于半导体制造设备、检测设备内部载入载出FOUP/FOSB。能够兼容符合SEMI标准的各类FOUP和FOSB。
扫描功能可选
FOUP ID读取功能可选
装置符合SEMI E15.1.E57、E62、E63、E64
全部驱动轴采用气动控制
相较于电机具有稳定性好
控制简单的特点
E84控制功能可选
兼容符合SEMI标准的FOUP和FOSB无需示教
RS232C以及I/O连接
LSL3100系列loadport用于半导体制造设备、检测设备内部载入载出FOUP/FOSB。能够兼容符合SEMI标准的各类FOUP和FOSB。
| Item 条款 | Specification 规格 | |
| 可处理对象 Suitable Product Specifications | 300mmFOUP/FOSB SEMI E47.1,E62 标准品 300mmFOUP/FOSB(SEMI E47.1,E62 compliant product) | |
| Y 轴Y-axis | Z 轴Z-axis | |
| 动作范围Range | 80mm | 400mm |
| 重复精度Repeat accuracy | ±0.1mm(前、后端定位) | ±0.1mm(上、下端定位) |
| 操作时间Operation time | FOUP 载入 12 秒(包含扫描时间)/ FOUP 载出 10 秒 FOUP open operation(with mapping):12secFOUP close operation:10sec | |
| 动力源Power | DC24V±10%,3AVAC:-65±10kPaCDA:0.5~0.65MPa | |