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零部件系列
LSL3100 系列晶圆装载台

LSL3100系列loadport用于半导体制造设备、检测设备内部载入载出FOUP/FOSB。能够兼容符合SEMI标准的各类FOUP和FOSB。

Features
产品特点

扫描功能可选

FOUP ID读取功能可选

装置符合SEMI E15.1.E57、E62、E63、E64

全部驱动轴采用气动控制

相较于电机具有稳定性好

控制简单的特点

E84控制功能可选

兼容符合SEMI标准的FOUP和FOSB无需示教

RS232C以及I/O连接

Details
产品详情

LSL3100系列loadport用于半导体制造设备、检测设备内部载入载出FOUP/FOSB。能够兼容符合SEMI标准的各类FOUP和FOSB。

Item 条款Specification 规格
可处理对象
Suitable Product Specifications
300mmFOUP/FOSB SEMI E47.1,E62 标准品
300mmFOUP/FOSB(SEMI E47.1,E62 compliant product)

Y 轴Y-axisZ 轴Z-axis
动作范围Range80mm400mm
重复精度Repeat accuracy±0.1mm(前、后端定位)±0.1mm(上、下端定位)
操作时间Operation timeFOUP 载入 12 秒(包含扫描时间)/ FOUP 载出 10 秒

               FOUP open operation(with mapping):12secFOUP close operation:10sec
动力源PowerDC24V±10%,3AVAC:-65±10kPaCDA:0.5~0.65MPa