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零部件系列
炉管机械手

果纳炉管机械手是一种用于立式高温炉中多片晶圆取放的自动化传输装置。该机械手有两个末端执行机构,根据工况的不同,每次可以取放1片或者5片300mm的晶圆


Features
产品特点

高精度的运动部件

先进的检测单元

自研控制算法

Details
产品详情

果纳炉管机械手是一种用于立式高温炉中多片晶圆取放的自动化传输装置。该机械手有两个末端执行机构,根据工况的不同,每次可以取放1片或者5片300mm的晶圆

依托于高精度的运动部件、先进的检测单元和稳定的自研控制算法,果纳炉管机械手可在立式高温炉设备中可靠的工作

Item 项目Specification 规格Unit 单位
Transportation300mmmm
Wafer WarpageSTD
Range of MotionU-Axis±94°
V-AxisMin. 6.5 - Max. 22mm
X-Axis494mm
Y-Axis494mm
Z-Axis1103mm
Repeatability0.1mm
Max. SpeedU-Axis180°/s
X-Axis675mm/s
Y-Axis675mm/s
Z-Axis400mm/s
Minimum rotation diameterMin. 634mm
WPH700
Wafer DetectionOptical Sensors
Approximate Mass125kg