OHT（Overhead Transport System，空中搬运系统）是AMHS（Automated Material Handling System，自动化物料搬运系统）的重要组成部分，广泛应用于半导体制造等领域。该系统通过天花板上的轨道网络来运输物料容器（如FOUP和FOSB），避免了地面交通的干扰，提升了搬运效率和环境洁净度。尤其在大尺寸晶圆的处理上，OHT能有效缩短生产周期，减少人力成本，并降低污染风险。
洁净立体仓库（Clean Stocker）是AMHS（Automated Material Handling System，自动化物料搬运系统）中的关键组件，专为半导体生产线提供高效的物料存储与管理解决方案。通过集成专用堆垛机、物料存储单元以及自动和手动的物料进出口，它能够在高洁净度环境下存储晶圆载具（如FOUP和FOSB），并且作为缓冲区来平衡设备及工艺间的产能差异，确保生产线的平稳运行。
LIFT自动提升机是一类通过自动化控制系统实现物料或货物垂直搬运的智能机械设备，其核心价值在于以“设备搬运”替代“人工搬运”，显著提升作业效率与安全性。
OLUS人工晶圆装载系统是自动化物料搬运系统（AMHS）中的一个关键组成部分，专为半导体制造环境中的晶圆载具（如FOUP、FOSB）提供人工上下料端口。
