200mm(8英寸)标准机械接口 (SMIF) 用于放置和开关装载了200mm晶圆的SMIF POD。此项技术利用单一系统的迷你环境,将晶圆在被传输过程中隔离,避免晶圆受到污染。在提高生产良率的同时,也大大降低了无尘室的洁净度维护成本。
降低无尘室洁净度维护成本
可根据客户需求定制(6寸/6、8兼容)
200mm(8英寸)标准机械接口 (SMIF) 用于放置和开关装载了200mm晶圆的SMIF POD。此项技术利用单一系统的迷你环境,将晶圆在被传输过程中隔离,避免晶圆受到污染。在提高生产良率的同时,也大大降低了无尘室的洁净度维护成本。
果纳半导体研发生产的200mm SMIF符合SEMI E19.4、S2和S9标准,可实现全自动化晶圆传输。 果纳200mm SMIF运用先进的高精度运动系统和检测系统,加上自研的控制算法,除了可以实现基本的SMIF POD、晶圆和cassette的有无检测外,还可检测晶圆的突片、斜片以及晶圆厚度。