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AMHS系列
天车 OHT

OHT(Overhead Transport System,空中搬运系统)是AMHS(Automated Material Handling System,自动化物料搬运系统)的重要组成部分,广泛应用于半导体制造等领域。该系统通过天花板上的轨道网络来运输物料容器(如FOUP和FOSB),避免了地面交通的干扰,提升了搬运效率和环境洁净度。尤其在大尺寸晶圆的处理上,OHT能有效缩短生产周期,减少人力成本,并降低污染风险。

Features
产品特点

提升搬运效率和环境洁净度

缩短生产周期

减少人力成本

降低污染风险

Details
产品详情

OHT(Overhead Transport System,空中搬运系统)是AMHS(Automated Material Handling System,自动化物料搬运系统)的重要组成部分,广泛应用于半导体制造等领域。该系统通过天花板上的轨道网络来运输物料容器(如FOUP和FOSB),避免了地面交通的干扰,提升了搬运效率和环境洁净度。尤其在大尺寸晶圆的处理上,OHT能有效缩短生产周期,减少人力成本,并降低污染风险。

除了硬件设施外,OHT系统还集成了MCS(Material Control System,物料控制系统)、MCP(Master Control Processor,主控制处理器)以及OCS(OHT Control System,天车调度控制系统)等复杂的控制系统,负责管理和调度搬运设备,确保高效作业。通过结合智能算法和地图技术,OHT系统不仅能够优化物料搬运路径,还能通过模拟与数据分析进一步提升系统性能,增强整体生产效率和可靠性。

Item 条款Specification 规格
外形尺寸/External dimensions900X443X945 (L*W*H mm)
载具类型/Vehicle typeFOUP、FOSB、Frame、Retica
运行速度/Running speed直线速度/Linear velocity: 5.4m/sec (MAX)
曲线速度/Curve speed: 1m/sec (MAX)
振动加速度/Vibration acceleration直线行走/Straight walking: ≤0.5g
曲线行走/Curved walking: ≤0.5g
横移行程 /Lateral travel485mm (MAX)
最大加速度/Maximum acceleration2m/s^2
最大减加速度/Maximum deceleration3.5m/s^2
装载时间/Loading time12sec (Hoist 3m)
定位精度/Positioning accuracy±1mm
曲线半径/Curve radiusR500mm
最大旋转角度/Maximum rotation angle±5°
最大提升行程/Maximum lift stroke3000mm
最大提升速度/Maximum improvement speed1.5m/s
满载爬坡坡度/Full-load climbing slope4°
供电方式/Power supply mode非接触式供电/Non contact power supply
洁净等级/Cleanliness leveCLASS 100