OHT(Overhead Transport System,空中搬运系统)是AMHS(Automated Material Handling System,自动化物料搬运系统)的重要组成部分,广泛应用于半导体制造等领域。该系统通过天花板上的轨道网络来运输物料容器(如FOUP和FOSB),避免了地面交通的干扰,提升了搬运效率和环境洁净度。尤其在大尺寸晶圆的处理上,OHT能有效缩短生产周期,减少人力成本,并降低污染风险。
提升搬运效率和环境洁净度
缩短生产周期
减少人力成本
降低污染风险
OHT(Overhead Transport System,空中搬运系统)是AMHS(Automated Material Handling System,自动化物料搬运系统)的重要组成部分,广泛应用于半导体制造等领域。该系统通过天花板上的轨道网络来运输物料容器(如FOUP和FOSB),避免了地面交通的干扰,提升了搬运效率和环境洁净度。尤其在大尺寸晶圆的处理上,OHT能有效缩短生产周期,减少人力成本,并降低污染风险。
除了硬件设施外,OHT系统还集成了MCS(Material Control System,物料控制系统)、MCP(Master Control Processor,主控制处理器)以及OCS(OHT Control System,天车调度控制系统)等复杂的控制系统,负责管理和调度搬运设备,确保高效作业。通过结合智能算法和地图技术,OHT系统不仅能够优化物料搬运路径,还能通过模拟与数据分析进一步提升系统性能,增强整体生产效率和可靠性。
| Item 条款 | Specification 规格 |
| 外形尺寸/External dimensions | 900X443X945 (L*W*H mm) |
| 载具类型/Vehicle type | FOUP、FOSB、Frame、Retica |
| 运行速度/Running speed | 直线速度/Linear velocity: 5.4m/sec (MAX) |
| 曲线速度/Curve speed: 1m/sec (MAX) | |
| 振动加速度/Vibration acceleration | 直线行走/Straight walking: ≤0.5g |
| 曲线行走/Curved walking: ≤0.5g | |
| 横移行程 /Lateral travel | 485mm (MAX) |
| 最大加速度/Maximum acceleration | 2m/s^2 |
| 最大减加速度/Maximum deceleration | 3.5m/s^2 |
| 装载时间/Loading time | 12sec (Hoist 3m) |
| 定位精度/Positioning accuracy | ±1mm |
| 曲线半径/Curve radius | R500mm |
| 最大旋转角度/Maximum rotation angle | ±5° |
| 最大提升行程/Maximum lift stroke | 3000mm |
| 最大提升速度/Maximum improvement speed | 1.5m/s |
| 满载爬坡坡度/Full-load climbing slope | 4° |
| 供电方式/Power supply mode | 非接触式供电/Non contact power supply |
| 洁净等级/Cleanliness leve | CLASS 100 |