OLUS人工晶圆装载系统是自动化物料搬运系统(AMHS)中的一个关键组成部分,专为半导体制造环境中的晶圆载具(如FOUP、FOSB)提供人工上下料端口。
工作方式任意设置
完整FOUP到位等检测功能
安全光幕保护
防止误操作
E84通信及RFID信息读取
实现与MCS间TCP/IP方式的信息互传
触摸式工控机控制实现信息显示的完整及操作便利
OLUS人工晶圆装载系统是自动化物料搬运系统(AMHS)中的一个关键组成部分,专为半导体制造环境中的晶圆载具(如FOUP、FOSB)提供人工上下料端口。
| 本体重量/Body weight | ≤100Kg |
| 洁净等级/Cleanliness level | Class 100 |
| 供电/power supply | 220VAC±10% 50Hz |