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AMHS系列
OLUS 人工晶圆装载系统

OLUS人工晶圆装载系统是自动化物料搬运系统(AMHS)中的一个关键组成部分,专为半导体制造环境中的晶圆载具(如FOUP、FOSB)提供人工上下料端口。

Features
产品特点

工作方式任意设置

完整FOUP到位等检测功能

安全光幕保护

防止误操作

E84通信及RFID信息读取

实现与MCS间TCP/IP方式的信息互传

触摸式工控机控制实现信息显示的完整及操作便利

Details
产品详情

OLUS人工晶圆装载系统是自动化物料搬运系统(AMHS)中的一个关键组成部分,专为半导体制造环境中的晶圆载具(如FOUP、FOSB)提供人工上下料端口。

本体重量/Body weight≤100Kg
洁净等级/Cleanliness levelClass 100
供电/power supply220VAC±10% 50Hz