洁净立体仓库(Clean Stocker)是AMHS(Automated Material Handling System,自动化物料搬运系统)中的关键组件,专为半导体生产线提供高效的物料存储与管理解决方案。通过集成专用堆垛机、物料存储单元以及自动和手动的物料进出口,它能够在高洁净度环境下存储晶圆载具(如FOUP和FOSB),并且作为缓冲区来平衡设备及工艺间的产能差异,确保生产线的平稳运行。
专为半导体生产线提供高效的物料存储与管理解决方案
高存储容量
支持高频次的物料进出
洁净度最高可达Class10级
洁净立体仓库(Clean Stocker)是AMHS(Automated Material Handling System,自动化物料搬运系统)中的关键组件,专为半导体生产线提供高效的物料存储与管理解决方案。通过集成专用堆垛机、物料存储单元以及自动和手动的物料进出口,它能够在高洁净度环境下存储晶圆载具(如FOUP和FOSB),并且作为缓冲区来平衡设备及工艺间的产能差异,确保生产线的平稳运行。
该系统不仅具备高存储容量,能够充分利用生产线的空间,增加洁净室的有效使用面积,而且还支持高频次的物料进出,以适应自动搬运的要求。洁净立体仓库的洁净度一般可达Class1000级,最高可达Class10级,确保了半导体制造过程中的环境要求。通过与物料搬运设备无缝对接,洁净立体仓库能够形成一体化的物流系统,提升整体生产效率和产品质量。
| Item 条款 | Specification 规格 |
| 设备尺寸/Equipment size | 可定制 |
| 载具类型/Vehicle type | FOUP、FOSB、Retical |
| 储存数量/Storage quantity | 可定制 |
| 行走速度/Walking speed | Max.2m/s |
| 升降速度/Lifting speed | Max.1.67m/s |
| 定位精度/Positioning accuracy | ±0.5mm |
| 震动/Vibrate | ≤0.5G |
| 修改为搬运效率/Handling efficiency | ≧180次/h |
| 噪音/ Noise | ≤70dB |
| 洁净等级/Cleanliness level | CLASS 1000 |