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AMHS系列
Stocker 存储设备

洁净立体仓库(Clean Stocker)是AMHS(Automated Material Handling System,自动化物料搬运系统)中的关键组件,专为半导体生产线提供高效的物料存储与管理解决方案。通过集成专用堆垛机、物料存储单元以及自动和手动的物料进出口,它能够在高洁净度环境下存储晶圆载具(如FOUP和FOSB),并且作为缓冲区来平衡设备及工艺间的产能差异,确保生产线的平稳运行。

Features
产品特点

专为半导体生产线提供高效的物料存储与管理解决方案

高存储容量

支持高频次的物料进出

洁净度最高可达Class10级

Details
产品详情

洁净立体仓库(Clean Stocker)是AMHS(Automated Material Handling System,自动化物料搬运系统)中的关键组件,专为半导体生产线提供高效的物料存储与管理解决方案。通过集成专用堆垛机、物料存储单元以及自动和手动的物料进出口,它能够在高洁净度环境下存储晶圆载具(如FOUP和FOSB),并且作为缓冲区来平衡设备及工艺间的产能差异,确保生产线的平稳运行。

该系统不仅具备高存储容量,能够充分利用生产线的空间,增加洁净室的有效使用面积,而且还支持高频次的物料进出,以适应自动搬运的要求。洁净立体仓库的洁净度一般可达Class1000级,最高可达Class10级,确保了半导体制造过程中的环境要求。通过与物料搬运设备无缝对接,洁净立体仓库能够形成一体化的物流系统,提升整体生产效率和产品质量。

Item 条款Specification 规格
设备尺寸/Equipment size可定制
载具类型/Vehicle typeFOUP、FOSB、Retical
储存数量/Storage quantity可定制
行走速度/Walking speedMax.2m/s
升降速度/Lifting speedMax.1.67m/s
定位精度/Positioning accuracy±0.5mm
震动/Vibrate≤0.5G
修改为搬运效率/Handling efficiency≧180次/h
噪音/ Noise≤70dB
洁净等级/Cleanliness levelCLASS 1000