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封装自动化系列
全自动8-12寸晶圆包装拆包机 AWS300CBUP
Features
产品特点

适用8”-12”晶圆

配置4XLP-12” FOUP/FOSB 装卸料坞

晶圆晶舟卸料

晶圆智能晶舟内扫描

晶圆晶舟中智能检测晶圆突出

晶片包裝堆叠盒、蛋糕盒Coin-Stacked Box

视觉系统识别晶圆、隔离纸、海棉

伯努利晶圆搬运技术自动取放晶圆、隔离纸、海棉

可零活处理超薄、翘曲晶圆

机器人内置智能晶圆校正对准器

晶员ID-OCR 读取功能

工控机+Windows 系统

Recipe 配方威化控制系统

SECS/GEM 或简易联网能力

Details
产品详情