果纳EFEM采用固定式多关节单臂双叉型机器人,具有更高的稳定性,更高的传片效率,以及长期使用的高洁净度要求。具有优异的内部气流导向结构设计,保证了内部空间微环境的洁净度满足ISO Class 1级别要求。
离子棒
光幕
多种料盒
多种类化学过滤器
RFID 读码器
条形码读码器
支持6寸、8寸、12寸晶圆传输
充氮气料盒载具
wafer ID读码器
果纳EFEM采用固定式多关节单臂双叉型机器人,具有更高的稳定性,更高的传片效率,以及长期使用的高洁净度要求。
具有优异的内部气流导向结构设计,保证了内部空间微环境的洁净度满足ISO Class 1级别要求。
可以兼容所有符合 SEMI 标准的 FOUP、FOSB 、OCS和金属料盒。
可根据客户需求选择订制晶圆承载台数量,可以安装在框架前面和背面 (N=2、3、4、5)。
提供多种可选功能配置,晶圆读码,翻转机构和化学过滤器。
| 数据的可靠性/可用性/可维护性 | |
| Item 条款 | Specification 规格 |
| 正常运行时间 | ≥99% |
| 平均故障间隔时间 | ≥6,000 hours |
| 平均修复时间 | ≤0.5 hours |
| 援助平均间隔时间 | ≥750 hours |
| 晶圆破片率 | ≤1/1,000,000 |
| 无警报循环次数 | ≥30,000 cycles |
| 晶圆ID读取失败率 | ≤0.5 % |
