• 首页
  • 关于果纳
  • 产品中心
  • 新闻中心
  • 联系我们
phone phone 021-51769001
繁体  |  EN
语言切换
晶圆传输系列
EFEM 设备前端模块

果纳EFEM采用固定式多关节单臂双叉型机器人,具有更高的稳定性,更高的传片效率,以及长期使用的高洁净度要求。具有优异的内部气流导向结构设计,保证了内部空间微环境的洁净度满足ISO Class 1级别要求。

Features
产品特点

离子棒

光幕

多种料盒

多种类化学过滤器

RFID 读码器

条形码读码器

支持6寸、8寸、12寸晶圆传输

充氮气料盒载具

wafer ID读码器

Details
产品详情

果纳EFEM采用固定式多关节单臂双叉型机器人,具有更高的稳定性,更高的传片效率,以及长期使用的高洁净度要求。

具有优异的内部气流导向结构设计,保证了内部空间微环境的洁净度满足ISO Class 1级别要求。

可以兼容所有符合 SEMI 标准的 FOUP、FOSB 、OCS和金属料盒。

可根据客户需求选择订制晶圆承载台数量,可以安装在框架前面和背面 (N=2、3、4、5)。

提供多种可选功能配置,晶圆读码,翻转机构和化学过滤器。

数据的可靠性/可用性/可维护性
Item 条款Specification 规格
正常运行时间≥99%
平均故障间隔时间≥6,000 hours
平均修复时间≤0.5 hours
援助平均间隔时间≥750 hours
晶圆破片率≤1/1,000,000
无警报循环次数≥30,000 cycles
晶圆ID读取失败率≤0.5 %
Layout
设备布局

de1.jpg

Introduction
产品类型介绍