果纳晶圆分选机是一种将晶圆按指定路径自动传输的设备,可分选直径200mm和300mm的晶圆,可以兼容所有符合 SEMI 标准的 FOUP、FOSB 、OCS和金属料盒,可根据客户需求选择订制晶圆承载台数量
wafer ID读码器
离子棒
光幕
多种料盒
多种类化学过滤器
RFID 读码器
条形码读码器
支持6寸、8寸、12寸晶圆传输
充氮气料盒载具
果纳晶圆分选机是一种将晶圆按指定路径自动传输的设备,可分选直径200mm和300mm的晶圆
可以兼容所有符合 SEMI 标准的 FOUP、FOSB 、OCS和金属料盒
可根据客户需求选择订制晶圆承载台数量,可以安装在框架前面和背面 (N=2、3、4、6、8)
果纳晶圆分选机配置了优化的微型环境设计,可提供一流的清洁度,可达到 ISO Class 1 级别的要求
果纳晶圆分选机提供多种可选功能配置,晶圆读码,翻转机构和化学过滤器
| Item 条款 | Specification 规格 |
| 正常运行时间 | ≥99% |
| 平均故障间隔时间 | ≥6,000 hours |
| 平均修复时间 | ≤0.5 hours |
| 援助平均间隔时间 | ≥750 hours |
| 晶圆刮伤率 | ≤1/1,000,000 |
| 无警报循环次数 | ≥30,000 cycles |
| 晶圆ID读取失败率 | ≤0.5 % |
| 晶圆传输量(含OCR) | ≥ 300 |