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晶圆传输系列
Sorter 晶圆分选机

果纳晶圆分选机是一种将晶圆按指定路径自动传输的设备,可分选直径200mm和300mm的晶圆,可以兼容所有符合 SEMI 标准的 FOUP、FOSB 、OCS和金属料盒,可根据客户需求选择订制晶圆承载台数量

Features
产品特点

wafer ID读码器

离子棒

光幕

多种料盒

多种类化学过滤器

RFID 读码器

条形码读码器

支持6寸、8寸、12寸晶圆传输

充氮气料盒载具

Details
产品详情

果纳晶圆分选机是一种将晶圆按指定路径自动传输的设备,可分选直径200mm和300mm的晶圆

可以兼容所有符合 SEMI 标准的 FOUP、FOSB 、OCS和金属料盒

可根据客户需求选择订制晶圆承载台数量,可以安装在框架前面和背面 (N=2、3、4、6、8)

果纳晶圆分选机配置了优化的微型环境设计,可提供一流的清洁度,可达到 ISO Class 1 级别的要求

果纳晶圆分选机提供多种可选功能配置,晶圆读码,翻转机构和化学过滤器

Item 条款Specification 规格
正常运行时间≥99%
平均故障间隔时间≥6,000 hours
平均修复时间≤0.5 hours
援助平均间隔时间≥750 hours
晶圆刮伤率≤1/1,000,000
无警报循环次数≥30,000 cycles
晶圆ID读取失败率≤0.5 %
晶圆传输量(含OCR)≥ 300
Introduction
产品类型介绍